微气体传感器微热板电极结构的设计与优化

• 作者: 刘丽 刘丽丽 刘震 王连元 郭欣
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微气体传感器 微热板 结构优化 温度分布 有限元分析 磁场分布
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1595字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2014.09.013

摘要

设计了一种微气体传感器微热板的电板结构,利用有限元分析工具ANSYS对该微热板的温度场和磁场分布进行了分析和优化,研究了微热板加热电极的宽度和间距对温度分布的影响,并对测量电极的结构进行了优化.结果表明:当微热板加热电极的宽度和间距分别为20 μm和10 μm且测量电极为无叉指结构时,微热板中心区域能获得高且均匀的温度分布,并且磁场强度最小且分布均匀,这种电板结构有助于消除磁场对测量信号的干扰,提高传感器的整体性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丽	吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室	177	1268	17.0	27.0
2	王连元	吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室	23	116	7.0	10.0
3	郭欣	吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室	27	165	5.0	12.0
4	刘丽丽	吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室	12	42	4.0	6.0
5	刘震	吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室	9	29	3.0	5.0