陶瓷微热板阵列式可燃气体传感器

• 作者: 唐祯安 薛严冰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷微热板 气体阵列传感器 一氧化碳 甲烷 工作温度
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2200-2206
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3378字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122010.2200

摘要

设计了基于陶瓷基底的悬桥式微热板结构以解决硅微热板高温稳定性差的问题.分析了微热板的传热过程,并通过有限元工具对其稳态热响应特性及微加热器电极结构进行了模拟.采用常规微电子技术结合激光微加工技术,实际制作了基底厚度为100 μm,桥宽度为2 mm的微结构,并对结构的加热功率-温度关系进行了测试.结果表明:热板具有较好的高温稳定性,1.5W加热功率可使板上平均温度达到630℃.将桥式微热板作为阵列传感器的加热平台,Pd掺杂原子数百分比为0.2％和10％的SnO2纳米材料分别作为阵列中两只传感器的敏感膜材料,设计并制作了阵列式气体传感器.传感器在恒电压加热方式下可实现CO或CH4单一模式气体检测;阵列传感器在高、低温脉冲电压加热模式下可实现对CO和CH4两种混合气体的定量检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学电子科学与技术学院	142	1281	17.0	29.0
2	薛严冰	大连交通大学电气信息学院	6	33	2.0	5.0