超净高纯试剂的制备、检测及包装技术进展

• 作者: 宋宽广 张广平 郑远洋 郝俪蓉 高嫒嫒
• 来源期刊: 化学试剂
• 学科: 工学
• 关键词: 超净高纯试剂 纯化 检测 包装
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 综述与进展
• 页码范围: 713-718
• 分类号: TQ421.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13822/j.cnki.hxsj.2014.08.010

摘要

超净高纯试剂是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一.在半导体工业中的消耗比例大致占10％～15％.超净高纯试剂制备的关键在于控制并达到其所要求的杂质含量和颗粒度.为使超净高纯试剂的质量达到要求,需要多方面的条件予以保障.简述超净高纯试剂的纯化技术、检测及包装技术进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高嫒嫒		8	27	2.0	5.0
2	郑远洋		3	24	2.0	3.0
3	张广平		3	12	2.0	3.0
4	宋宽广		3	12	2.0	3.0