基于MEMS集成加热器的温控系统研究

• 作者: 万松 张威 江少波 苏卫国 邓康发
• 来源期刊: 北京大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS传感器 温度漂移 集成度 Fuzzy-PID控制
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 623-626
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 1855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13209/j.0479-8023.2014.117

摘要

采用MEMS集成加热器设计一个温控系统.所用的加热器效率达到7.35 mm2K/mW,且功耗低.加热器面积为6 mm×6 mm,具有较高的系统集成度.该温控系统采用Fuzzy-PID温度控制算法,温度稳态误差小于0.1℃,并且约10秒即达到稳态,响应速度快.使用该系统对MEMS压力计进行环境温控,可明显抑制器件的温度漂移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张威	北京大学微电子学研究院	31	474	10.0	21.0
2	苏卫国	北京大学微电子学研究院	4	23	2.0	4.0
3	江少波	北京大学微电子学研究院	1	1	1.0	1.0
4	万松	北京大学微电子学研究院	1	1	1.0	1.0
5	邓康发	北京大学微电子学研究院	1	1	1.0	1.0