微型直流变换器中的薄膜电感器设计制造

• 作者: 华旭
• 来源期刊: 磁性元件与电源
• 学科: 工学
• 关键词: 微型直流变换器(DC DC) 薄膜电感器 半导体生产工艺
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 页码范围: 123-128
• 页数: 6页
• 分类号: TM55

摘要

文章介绍了一种用于超小型直流变换器的，不同于由磁芯、绕制线圈组成的立体式磁性器件的薄膜型电感器。由这种电感器和半导体器件构建的微型直流变换器被安装在同一薄膜基片上。这种部件的设计和生产工艺技术类似于半导体器件的加工生产。在此，探讨微型薄膜电感器的结构特点与设计，所需材料及其制造工艺技术，同时举例介绍它们在MHz级工作频率的驱动直流变换器中的应用情况。