集成电路芯片生产过程中的含砷废水零排放工艺研究

• 作者: 张绍修 沈燕
• 来源期刊: 环境与发展
• 学科: 地球科学
• 关键词: 电子产业转移 芯片生产 含砷废水 零排放
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 防治与处理
• 页码范围: 74-78
• 页数: 5页
• 分类号: X76
• 字数: 6060字
• 语种: 中文

摘要

针对中西部电子产业转移企业中涉及的砷污染及总量指标来源问题，以第二代半导体集成电路芯片生产企业为例，介绍了芯片生产过程中含砷废水的产生来源，分析了含砷废水零排放处理工艺流程及处理效果，说明了工艺的技术可行性，指出了零排放是解决总量指标来源的有效途径，同时，探讨了零排放工艺应注意的问题，供相关企业单位参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张绍修		5	10	2.0	3.0
2	沈燕		4	5	1.0	2.0