PTFE/Al反应多层膜的制备及力学性能

• 作者: 李瑞 杨光成 沈金朋 王军 蒋小军 黄辉
• 来源期刊: 含能材料
• 学科: 化学
• 关键词: 物理化学 聚四氟乙烯/铝(PTFE/Al) 纳米反应多层膜 磁控溅射 力学性能
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 365-370
• 页数: 6页
• 分类号: TJ55|O64
• 字数: 3288字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9941.2014.03.017

摘要

以铝(Al)为可燃物质,聚四氟乙烯(PTFE)为氧化剂,利用射频磁控溅射法制备了不同厚度,交替沉积的PTFE/Al反应多层膜.采用原子力显微镜(AFM)、X-射线衍射仪(XRD)研究了溅射功率对薄膜表面形貌的影响规律,得到了PTFE/Al反应多层膜适宜的制备工艺,利用纳米压痕仪研究了PTFE/Al反应多层膜的力学性能.结果表明,当射频溅射功率分别为50W和150W时,制得的PTFE薄膜和Al薄膜的平均粗糙度与均方根粗糙度均较低.当PTFE/Al反应多层膜总厚度约为300 nm时,与相同厚度的纯PTFE膜和纯Al膜相比,PTFE/Al反应多层膜具有较高的硬度和弹性模量,分别为5.8 GPa和1 20.0 GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄辉	中国工程物理研究院化工材料研究所	100	1362	21.0	32.0
2	王军	中国工程物理研究院化工材料研究所	72	315	10.0	13.0
3	杨光成	中国工程物理研究院化工材料研究所	31	242	8.0	14.0
4	蒋小军	西南科技大学材料科学与工程学院	2	5	1.0	2.0
6	李瑞		2	12	2.0	2.0
9	沈金朋		1	4	1.0	1.0