干涉测量波面重构 DCT 算法研究

• 作者: 卓仁善 曹艳波 王永伟 艾华
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉测量 离散余弦变换 相位解包裹 最小二乘法 曲面拟合
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与测试
• 页码范围: 1012-1018
• 页数: 7页
• 分类号: TP394.1|TH691.9
• 字数: 2689字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140706.1012

摘要

采用一种空间移相干涉仪测量凹形非球面反射镜光学表面，使用偏振元件和多幅图像同步采集实现移相，并对测量得到的干涉条纹采用基于离散余弦变换的相位解包裹算法，对不连续相位分布采用非加权的最小二乘法进行优化目标函数，最终重构出被测光学表面的面形。这种结构形式的干涉仪具有一定的抗振能力，同时在数字图像处理上优化了算法，能够快速稳定地得到被测面形，而且对硬件要求不高。结果表明：这种算法能够适用于非实验室条件下的光学测量，在一定干扰条件下可以达到较高的测量精度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	艾华	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	28	363	10.0	18.0
2	卓仁善	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	43	4.0	5.0
3	王永伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	54	4.0	7.0
12	曹艳波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	30	3.0	5.0