双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ)的制备及成膜性能

• 作者: 刘伟平 常桥稳 易健宏 胡昌义 蔡宏中 郑旭 陈力 魏燕
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ) 钯薄膜 MOCVD
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 1254-1257
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.3+6|TB43
• 语种: 中文

摘要

以二氯化钯和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了一种新的β二酮前驱体-双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ).通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱及单晶X射线衍射等技术对合成的前驱体进行了结构表征.热重-差热分析表明,在N2气氛中,当温度升到291℃时,前驱体基本挥发完全.采用合成的前驱体通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在石英上沉积制备钯薄膜,利用XRD和AFM分析手段对薄膜的结构和表面形貌进行了表征.结果表明,所得到的薄膜纯净,无其他杂质存在,薄膜表面连续、致密.