不同氧流量条件下ZnO纳米棒阵列的形成及机理分析

• 作者: 吕有明 曹培江 曾玉祥 朱德亮 柳文军 解振宇 贾芳 韩舜
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO纳米棒阵列 化学气相沉积 发光性能
• 年，卷（期）: 2014,（14）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: O472+.3
• 字数: 2504字
• 语种: 中文

摘要

采用脉冲激光沉积结合化学气相沉积方法在p-Si(111)衬底上制备了呈直立生长的ZnO纳米棒阵列,并且研究了氧流量对ZnO纳米棒尺寸、结晶特性等性质的影响.研究结果表明,在没有氧气的环境下无法生长ZnO纳米棒;随氧流量减小,不同晶面上ZnO生长速率的不同导致ZnO纳米棒长度减小、直径变粗、结晶质量变差、纳米棒面密度减小.氧流量的减小使得ZnO纳米棒中的氧空位缺陷含量增加,导致位于约520 nm处的绿光峰增强.