超薄钛酸锶电瓷基片研磨加工工艺优化

• 作者: 潘继生 王威 白振伟 阎秋生
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶电瓷基片 双面研磨 表面粗糙度 材料去除率
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TH16
• 字数: 2436字
• 语种: 中文

摘要

无压烧结钛酸锶（ SrTiO3）电瓷基片表面不平整、均匀性差且翘曲度大，无法有效使用；采用研磨加工容易破碎、加工效果差。利用柔性加载双面研磨的加工工艺，优化分析了磨料种类、磨料粒度、磨料浓度、研磨压力和转速对钛酸锶电瓷基片研磨加工的影响，使钛酸锶电瓷基片表面达到了粗糙度为Ra0．268μm、去除率为4．6μm／min、厚度为0．19mm，以及厚度误差小于0．01mm的加工效果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阎秋生	广东工业大学机电工程学院	146	787	13.0	20.0
2	潘继生	广东工业大学机电工程学院	34	203	8.0	12.0
3	白振伟	广东工业大学机电工程学院	8	63	4.0	7.0
4	王威	广东工业大学机电工程学院	1	3	1.0	1.0