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摘要:
微机电系统(MEMS)技术是从半导体微加工工艺发展而来的,它具有体积小、能耗低、响应时间短、集成化程度高等优点,已成功应用在微惯性导航传感器、飞行大气数据参数系统以及飞行器结构状态监测、发动机状态监测等方面.美国国防预研局(DARPA)微系统技术办公室(MTO)对于MEMS战略投资,使美国长期保持着在核心传感器件方面的科技优势.
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文献信息
篇名 微机电系统传感器在航空领域的应用
来源期刊 国际航空 学科
关键词
年,卷(期) 2014,(12) 所属期刊栏目 工程与技术
研究方向 页码范围 64-65
页数 2页 分类号
字数 语种 中文
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1 蒋永刚 6 10 2.0 3.0
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期刊影响力
国际航空
月刊
1000-4009
11-1796/V
大16开
北京市
2-212
1956
chi
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4793
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