微机电系统传感器在航空领域的应用

• 作者: 蒋永刚
• 来源期刊: 国际航空
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 工程与技术
• 页码范围: 64-65
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

微机电系统(MEMS)技术是从半导体微加工工艺发展而来的,它具有体积小、能耗低、响应时间短、集成化程度高等优点,已成功应用在微惯性导航传感器、飞行大气数据参数系统以及飞行器结构状态监测、发动机状态监测等方面.美国国防预研局(DARPA)微系统技术办公室(MTO)对于MEMS战略投资,使美国长期保持着在核心传感器件方面的科技优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋永刚		6	10	2.0	3.0