基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测

• 作者: 张艳微 杨怀江 苏东奇 隋永新
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 误差补偿 旋转平均法 旋转非对称面形 绝对检测
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 216-221
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0708007

摘要

旋转法是一种用于获得被测面旋转非对称面形的绝对检测技术.旋转平均补偿算法是在N次等间隔旋转的基础上增加一次不同角度的旋转测量,称为N+1次旋转法.通过附加的一次旋转测量,采用泽尼克多项式拟合求解旋转平均法的丢失面形.推导了理论计算公式,仿真分析了存在旋转角度和偏心误差时,补偿算法的有效性以及附加旋转角度对补偿面形计算精度的影响.验证实验的结果与仿真相符,表明在选择合适的附加角度之后,该算法可有效补偿丢失信息.与旋转平均法相比,只需增加一次旋转,就能得到更完整的面形,极大地提高了检测效率和精度,实验中补偿率达到61％,检测精度提高了约1倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	71	495	11.0	19.0
2	杨怀江	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	62	411	11.0	18.0
3	苏东奇	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	6	1.0	2.0
4	张艳微	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	0	0.0	0.0