固结磨料研磨垫孔隙结构对其加工性能的影响

• 作者: 徐俊 朱永伟 李军 王成
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 固结磨料研磨垫 铜 孔隙 摩擦系数 材料去除速率 自修整
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 911-917
• 页数: 7页
• 分类号: TG74|TG176
• 字数: 3674字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142204.0911

摘要

为了解决铜在研磨过程中铜屑黏附减小了容屑空间,易导致研磨垫钝化问题,本文尝试在亲水性固结磨料研磨垫(FAP)内部添加硫酸镁晶体,利用硫酸镁晶体遇水溶解的特性,在研磨垫表面制造不同特征的孔隙.实验在FAP中添加粒径为8目、170目、500目的硫酸镁晶体制造了3种不同孔隙分布的研磨垫,研究了不同加工参数下FAP研磨铜片时的材料去除速率、摩擦系数、表面形貌及磨屑特征.结果表明,仅含170目硫酸镁的FAP与含8目和500目硫酸镁、质量分数分别为5％和10％的FAP在研磨过程中出现了不同程度的钝化,而FAP表现出良好的自修整性能,研磨过程摩擦系数较大且保持平稳;在研磨液流量为60 ml/min时,其材料去除速率为4.46 μm/min,表面粗糙度Ra为159 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李军	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	69	660	16.0	22.0
2	朱永伟	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	128	1288	19.0	26.0
3	徐俊	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	13	140	6.0	11.0
4	王成	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	13	63	4.0	7.0