固结磨料抛光垫的凸起图案对其加工性能的影响

• 作者: 叶剑锋 朱永伟 李军 王俊 钱阮富
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 固结磨料抛光垫 凸起图案 图案优化
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 8-12
• 分类号: TG58|TQ164
• 字数: 3158字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2010.06.002

摘要

抛光垫是化学机械抛光中的重要组成部分,其磨损均匀性能是影响加工后工件平面度的重要因素.本文比较了具有优化凸起图案的固结磨料抛光垫、凸起均布的固结磨料抛光垫和聚氨酯抛光垫的研磨抛光性能,结果表明:利用优化凸起图案的固结磨料抛光垫加工,可以得到更加优异且稳定的表面质量,材料去除效率远高于聚氨脂抛光垫游离磨料的加工方式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李军		69	660	16.0	22.0
2	朱永伟		128	1288	19.0	26.0
3	王俊		16	94	6.0	9.0
4	叶剑锋		9	79	5.0	8.0
5	钱阮富		2	10	1.0	2.0