乙醇浓度对亲水性固结磨料垫自修整特性的影响

• 作者: 朱永伟 李军 王子琨 王建彬 金振弘
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 研磨 乙醇水溶液 材料去除率变化 亲水性固结磨料 自修整
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 843-849
• 页数: 7页
• 分类号: TG74|TG176
• 字数: 3163字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182604.0843

摘要

自修整能力是评价亲水性固结磨料研磨垫加工性能的重要指标.本文选择不同浓度的乙醇水溶液作为研磨介质,表征了亲水性固结磨料垫基体在研磨介质中的溶胀率与砂浆磨损速率,探索了亲水性固结磨料垫在不同研磨介质条件下研磨石英玻璃的加工性能,采用亲水性固结磨料垫在不同阶段的材料去除速率变化(Material Removal Rate Varia-tion,M RRV)衡量固结磨料垫的自修整能力.结果表明:随着研磨介质中乙醇浓度的增加,溶胀率与砂浆磨损速率均增大,分别达到了1.05% 与5.5 mg/h,不仅研磨垫的材料去除率与表面质量得到了提高,同时,不同阶段的M RRV大幅减小,体现了更优的自修整能力.当乙醇浓度为25% 时,平均材料去除率达到11.82 μm/min,表面粗糙度 Ra为75 nm,磨料垫具备了良好的加工性能.研磨介质中引入乙醇能有效提高固结磨料垫的加工性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李军	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	69	660	16.0	22.0
2	朱永伟	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	128	1288	19.0	26.0
3	金振弘	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	2	3	1.0	1.0
4	王子琨	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	5	25	3.0	5.0