修整技术及提高固结磨料研磨垫自修整性的研究

• 作者: 居志兰 张福豹 朱永伟
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 修整技术 自修整 金刚石磨料 亲水性固结磨料研磨垫
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TG74
• 字数: 3136字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2017.2.0003

摘要

随着化学机械研磨的持续进行,垫表面特征会发生变化,从而使其研磨能力大大降低.修整垫可改善表面轮廓,进而提高被加工晶片表面质量,而且可以减少表面缺陷,延长使用寿命.本文着重介绍固结磨料研磨垫常见修整技术,分为非自修整和自修整两种类型,非自修整法有高压水射流修整、超声波振动法修整、金刚石修整器修整.并重点阐述通过合理选用研磨液、添加成孔剂以及优化研抛工艺参数等措施来促进亲水性固结磨料研磨垫自修整.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱永伟	南京航空航天大学机电学院	128	1288	19.0	26.0
2	居志兰	南京航空航天大学机电学院	8	161	7.0	8.0
6	张福豹	南通大学机械工程学院	26	82	5.0	8.0