固结磨料垫高效研磨氟化钙晶体研究

• 作者: 唐超 朱永伟 沈功明 牛凤丽 王科荣 顾群飞
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 聚集体金刚石 固结磨料研磨垫 高效研磨 自修整
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 页码范围: 67-72
• 页数: 6页
• 分类号: TG58
• 字数: 4858字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.5.0012

摘要

氟化钙晶体的高效精密研磨加工是实现其超精密抛光加工的前提.采用单晶金刚石和聚集体金刚石磨料制备固结磨料垫(FAP),对比研究其研磨加工性能,探索不同种类的金刚石磨粒在固结磨料研磨垫自修整过程中的作用机理.结果表明:采用聚集体金刚石磨料制成的FAP研磨效率明显高于单晶金刚石FAP的,且其材料去除率更稳定,同时聚集体金刚石FAP的自修整能力要优于单晶金刚石FAP的.在10 kPa压力下,采用初始粒径为3～5μm的聚集体金刚石FAP研磨氟化钙晶体,其材料去除率达13.0μm/min,表面粗糙度值R a为130.0 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈功明	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	3	1	1.0	1.0
2	顾群飞	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	1	1	1.0	1.0
3	王科荣	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	2	1	1.0	1.0
4	唐超	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	2	1	1.0	1.0
5	牛凤丽	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	2	1	1.0	1.0