磨粒粒径对固结磨料研磨石英玻璃的加工性能影响

• 作者: 夏磊 左敦稳 朱永伟 李军 王慧敏 王文泽
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 石英玻璃 固结磨料研磨 材料去除率 表面粗糙度 磨粒切深
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 9-13,20
• 页数: 6页
• 分类号: TH140|TG74|TQ164
• 字数: 2876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2015.2.0002

摘要

固结磨料研磨垫的磨粒粒径是影响其加工效率和表面质量,以及下阶段抛光过程的重要因素。使用5μm、14μm和30μm三种粒径的金刚石固结磨料研磨垫加工石英玻璃,分析磨粒粒径对工件表面质量、材料去除率、声发射信号、摩擦系数和磨屑的影响,并结合磨粒切深选择最佳磨粒粒径。结果表明：随着磨粒粒径增大,材料去除率和表面粗糙度值均增大,声发射信号的均值和振幅显著提高,摩擦系数到达稳定水平需要的时间延长。14μm粒径磨粒的切深分布接近石英玻璃的脆塑转变临界切深201.2nm。选用粒径14μm的金刚石固结磨料研磨垫加工石英玻璃,其材料去除率为5.65μm/min,石英玻璃的表面粗糙度值Ra为66.8nm,满足硬脆材料的高效、高质量研磨要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	李军	南京航空航天大学机电学院	69	660	16.0	22.0
3	朱永伟	南京航空航天大学机电学院	128	1288	19.0	26.0
4	王文泽	南京航空航天大学机电学院	5	42	4.0	5.0
5	夏磊	南京航空航天大学机电学院	4	70	4.0	4.0
6	王慧敏	南京航空航天大学机电学院	3	32	2.0	3.0