熔融石英玻璃衬底的平面研磨加工实验研究

• 作者: 李基松 潘继生 阎秋生
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 熔融石英玻璃 游离磨料 研磨 材料去除率 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 60-65
• 页数: 6页
• 分类号: TG58|TG73
• 字数: 4526字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0011

摘要

熔融石英玻璃衬底的研磨加工是其超光滑抛光加工的基础工序.采用游离磨料对熔融石英玻璃进行单面粗研和精研加工,研究磨料质量分数、研磨盘转速、研磨液流量和研磨时间对石英玻璃表面质量和材料去除率的影响.结果表明:粗研过程中,随着磨料质量分数、研磨盘转速、研磨液流量的增大,工件材料去除率先增大后减小;随着加工时间的延长,表面粗糙度R a逐渐达到稳定水平.在磨料质量分数4％、研磨液流量20 mL/min、研磨盘转速60 r/min、加工30 min时,熔融石英玻璃衬底的表面粗糙度R a达0.11μm.在熔融石英玻璃衬底的精研过程中,选用平均粒径3μm的CeO 2加工50 min后的表面粗糙度R a最低,为4.11nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阎秋生	广东工业大学机电工程学院	146	787	13.0	20.0
2	潘继生	广东工业大学机电工程学院	34	203	8.0	12.0
3	李基松	广东工业大学机电工程学院	1	1	1.0	1.0