MEMS 中变截面梁弯曲数学模型的建立

• 作者: 刘旭 孙江宏 易源霖 赵秋玲
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS 变截面梁 最大转角尺寸刚度 最大挠度尺寸刚度 数学模型
• 年，卷（期）: 2014,（22）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 3061-3065
• 页数: 5页
• 分类号: TH16|TP242
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2014.22.015

摘要

在 MEMS 结构中采用变截面梁来减小应力集中的影响。建立的变截面梁弯曲数学模型可为MEMS 器件加工工艺提供理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角和最大挠度不变为前提条件，分别构建了最大转角尺寸刚度 K φ和最大挠度尺寸刚度 K W 表达式；对比原设计参数的尺寸刚度，创建了梁长度和端面高度与尺寸刚度的关系式，从而为 MEMS 结构中梁的设计提供了理论支撑。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙江宏		48	121	5.0	9.0
2	赵秋玲		10	16	3.0	4.0
3	刘旭		9	8	2.0	2.0
4	易源霖		5	4	1.0	2.0