高精度标准镜支撑结构的研究与设计

• 作者: 丁玲 杨洪波 王涛 贾宏光
• 来源期刊: 红外与激光工程
• 学科: 工学
• 关键词: 标准镜 参考面 支撑结构 自重变形 有限元法
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 笠先进光学笠
• 页码范围: 1172-1175
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 1817字
• 语种: 中文

摘要

为了保证高精度光学元件面形检测精度，必须对干涉仪标准镜自身的面形精度进行严格控制。在考虑标准镜自重的情况下，采用有限元方法研究了不同胶点数量及分布形式、不同的镜框支撑方式对参考面面形精度的影响。根据研究结果，针对球面标准镜面形精度要优于λ/40的要求，设计了口径准150 mm的标准镜的支撑方式，采用12×3点胶接、镜框底面六点的挠性支撑方式，经有限元分析得到：参考面面形的PV值为7.36 nm，RMS值为1.52 nm；并验证了温度变形较自重变形很小。结果表明，各项指标满足设计要求，证明了结构设计的合理性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王涛	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	392	8395	45.0	77.0
2	贾宏光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	120	1499	18.0	33.0
3	杨洪波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	73	850	16.0	26.0
4	丁玲	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	15	83	6.0	8.0