PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究

• 作者: 何梅 冯斌 徐晓 王德苗 金浩
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: PZT 蜂鸣片 磁控溅射 复合电极 电性能
• 年，卷（期）: 2014,（23）
• 所属期刊栏目: 工艺?技术
• 页码范围: 23152-23156
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TM221
• 字数: 3626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2014.23.031

摘要

采用直流磁控溅射工艺实现了PZT压电蜂鸣片的金属化,分别研究了 Cr/Cu/Ag、Ti/Cu/Ag、Cu/Ag 3种复合膜系电极薄膜的微观结构和电学性能差异,并与“丝网印刷银浆再高温烧结”(简称“丝印烧结”)金属化工艺进行了比较.研究结果表明,用溅射金属化工艺制备的压电蜂鸣片,其电极膜层致密、均匀,一致性好,电学性能普遍优于丝印烧结工艺,其中又以 Ti/Cu/Ag 膜系为最佳,最大抗拉强度达到13．5 MPa、平均谐振电阻小于25Ω、机电耦合系数大于0．7,而金属化膜厚仅为丝印烧结工艺的1/4,另外电容量和谐振频率等指标均符合蜂鸣器的标准,各项性能全面优于丝印烧结金属化工艺,具有全过程无污染、生产成本低、可控性强,适合于产业化生产等优点,可以取代丝印烧结工艺.