高温加热对于纯铝薄膜表面结构的影响研究

• 作者: 张曦 彭姣娇 徐莹 曲益 樊媛 鹿业波
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铝薄膜 高温 焦耳热 小丘
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 89-91
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2014.07.026

摘要

在半导体材料中，金属薄膜尺寸缩小会使通电时的电流密度升高而导致材料焦耳热迅速增加，从而影响金属薄膜表面结构。针对纯铝薄膜进行了高温加热试验，模拟实际运行中的温度影响，并分析了影响机理。试验结果表明随着加热温度和加热时间的增加会使铝膜表面原子迁移能力增强，单位时间内原子积聚数量增加，从而导致小丘数量和体积增大。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鹿业波	嘉兴学院机电工程学院	17	20	2.0	4.0
2	彭姣娇	嘉兴学院机电工程学院	4	3	1.0	1.0
3	曲益	嘉兴学院机电工程学院	1	1	1.0	1.0
4	樊媛	嘉兴学院机电工程学院	1	1	1.0	1.0
5	张曦	嘉兴学院机电工程学院	1	1	1.0	1.0
6	徐莹	嘉兴学院机电工程学院	1	1	1.0	1.0