Effect of ultrathin GeOx interfacial layer formed by thermal oxidation on Al2O3 capped Ge

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GeOx interfacial layer

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篇名	Effect of ultrathin GeOx interfacial layer formed by thermal oxidation on Al2O3 capped Ge
来源期刊	中国物理B（英文版）	学科
关键词	GeOx interfacial layer thermal oxidation GeO desorption Al2O3
年，卷（期）	2014,（4）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	482-487
页数	6页	分类号
字数		语种	英文
DOI	10.1088/1674-1056/23/4/046804

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