篇名 | Effect of additional silicon on titanium/4H-SiC contacts properties | ||
来源期刊 | 中国物理B(英文版) | 学科 | |
关键词 | Ti/4H-SiC ohmic contact surface morphology additional silicon | ||
年,卷(期) | 2014,(5) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 516-520 | |
页数 | 5页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 中文 | |
DOI | 10.1088/1674-1056/23/5/057303 |