基于微机电薄膜及迈克尔逊干涉仪的压力传感器

• 作者: 吴琛 王杜医建
• 来源期刊: 科教导刊-电子版（上旬）
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 微机电 迈克尔逊干涉仪 光的干涉
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 科 学 技 术
• 页码范围: 136-136
• 页数: 1页
• 分类号: TN929.11
• 字数: 595字
• 语种: 中文

摘要

压力传感器是一种将压力或压强转化为便于检测的信号，诸如光信号、电信号的检测装置。本文设计了基于微机电系统及迈克尔逊干涉仪的压力传感器。较之传统的压力传感器，此设计可有效提高压力传感器的灵敏性，可集成性和信号实时读取性，对此类传感器的大规模生产和应用推广具有重要意义。