“飞秒激光微加工--打孔”的文献综述

• 作者: 王敏
• 来源期刊: 电子世界
• 关键词: 飞秒激光 微加工 打孔 阈值 优点 前景
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 学术交流
• 页码范围: 185-185,186
• 页数: 2页
• 字数: 4716字
• 语种: 中文

摘要

飞秒激光微加工技术作为一种新兴的加工技术，具有非接触、效率高、加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维结构微加工等传统技术无法比拟的诸多优点，其应用领域相当广泛。文章描述了飞秒激光加工透明材料时，激光能量沉积在光学趋肤层，热效应极小的特性。指出了目前打孔普遍利用激光的直写技术，针孔掩模加工技术可以改善孔形的事实。最后展望了飞秒激光微加工的研究方向。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王敏	东南大学吴健雄学院	42	529	13.0	22.0