真空灭弧室真空度测量和校验方法的探讨

• 作者: 何维娜 孙淑萍 李文艺 王会友 王晓琴
• 来源期刊: 中国机械
• 关键词: 真空灭弧室 真空度测量 校验 脉冲磁控放电法
• 年，卷（期）: 2014,（22）
• 页码范围: 226-227
• 页数: 2页
• 字数: 1945字
• 语种: 中文

摘要

本文从真空灭弧室真空度测量的意义入手，介绍了真空度离线和在线测量的技术现状和成果，并侧重分析了脉冲磁控放电法存在的问题和基于该原理制造的真空度测试仪的校验方法，最后探讨了真空度测量技术的发展方向。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓琴		6	4	2.0	2.0
2	李文艺		3	2	1.0	1.0
3	何维娜		2	2	1.0	1.0
4	王会友		3	2	1.0	1.0
5	孙淑萍		2	0	0.0	0.0