聚乙烯薄膜表面沉积纳米 SiOx 涂层的阻隔性能

• 作者: 刘忠伟 桑利军 王敏 王正铎 陈强
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 射频等离子体 SiOx涂层 PE薄膜 气体透过率
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 36-41
• 分类号: TG174.444|TB484
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.03.006

摘要

为了提高药品包装用聚乙烯(PE)薄膜的阻隔性能,利用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以氧气(O2)和六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为氧化性气体和硅源单体,在PE薄膜表面沉积一层纳米厚度的柔性SiOx涂层.采用傅里叶变换红外吸收光谱、原子力显微镜和气体透过率测试仪对SiOx涂层的化学结构成分、表面微观形貌和气体阻隔性能进行表征.结果表明:SiOx涂层的化学结构和表面形貌对其阻隔性能有显著的影响.沉积工艺参数对SiOx涂层的阻隔性能起到了至关重要的作用.经过参数优化后制备的SiOx涂层可以有效地提高PE薄膜对氧气的阻隔性能,当射频功率为50 W,氧气和六甲基二硅氧烷的比例为2∶1,沉积气压为20 Pa时制备的SiOx涂层的透氧值可从原膜的3 000 mL/(m2·d)降低到30 mL/(m2·d),对氧气的阻隔率可以提高100倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	125	542	10.0	17.0
2	桑利军	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	14	53	5.0	6.0
3	王正铎	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	11	47	3.0	6.0
4	刘忠伟	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	25	62	5.0	7.0
5	王敏	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	2	9	1.0	2.0