电源功率对SiOx薄膜包装材料阻隔性影响的研究

• 作者: 刘壮 孙智慧 张博 林晶
• 来源期刊: 哈尔滨商业大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: SiOx 磁控溅射 电源功率 透氧率 透湿率
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 机械与土木
• 页码范围: 207-209,233
• 页数: 4页
• 分类号: TB484
• 字数: 3309字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-0946.2009.02.020

摘要

研究了电源功率对磁控溅射制备的SiOx薄膜阻隔性的影响,获得了电源功率与薄膜阻隔性的变化曲线.实验结果表明,电源功率与SiOx薄膜的阻隔性成非线性关系,在电源功率为1 600 W时SiOx薄膜阻隔性最好,透氧率为0.01 cm3/(m2·kPa·24h),透湿率为0.003 g/(m2·kPa·24h).通过对3组不同电源功率下SiOx薄膜的红外光谱进行检测分析,得到薄膜的阻隔性与SiOx分子结构有关,x(1≤x≤2)越大阻隔性越好,x=2时,SiOx分子结构形成的薄膜阻隔性最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林晶	哈尔滨商业大学轻工学院	40	160	7.0	11.0
2	刘壮	哈尔滨商业大学轻工学院	36	267	9.0	16.0
3	孙智慧	哈尔滨商业大学轻工学院	87	596	14.0	21.0
4	张博	哈尔滨商业大学轻工学院	43	84	5.0	7.0