纳米铜薄膜瞬态热输运过程试验研究与数值模拟分析

• 作者: 吴江 曾凡达 韩亚萍
• 来源期刊: 东北农业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 纳米铜薄膜 飞秒瞬态热反射技术 双温模型 热输运过程 电声耦合系数
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 93-98
• 页数: 6页
• 分类号: O437|TN2
• 字数: 4041字
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射法制备厚度100 nm的铜薄膜,使用800 nm泵浦和400 nm探测瞬态反射技术,测量铜薄膜的时间分辨反射率,分析铜薄膜在飞秒激光作用下瞬态热输运过程.利用双温模型对铜薄膜热输运过程进行数值模拟,模拟结果显示电子和晶格体系温度变化过程,电声耦合系数为1.2x1016W·m-3K.变换参数进行模拟,分析薄膜厚度和电声耦合系数对非平衡热输运过程影响规律,为铜薄膜在集成电路中应用提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩亚萍	东北林业大学理学院	17	51	5.0	6.0
2	吴江	东北林业大学理学院	3	2	1.0	1.0
3	曾凡达	东北林业大学理学院	2	2	1.0	1.0