金刚石砂轮缓进给磨削单晶硅沟槽研究

• 作者: 周平 康仁科 艾小忱 董志刚 郭东明 陈晓
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 缓进给沟槽磨削 金刚石砂轮 崩边
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 26-32
• 页数: 7页
• 分类号: TQ164|TG74
• 字数: 3130字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2015.2.0005

摘要

分别选用2 mm 宽的树脂结合剂和金属结合剂金刚石砂轮，以缓进给磨削方式在单晶硅上进行开槽实验，研究砂轮类型、砂轮线速度、工作台进给速度等参数对沟槽加工质量的影响，同时探讨了表面陪片对提高磨削质量的作用。实验结果及分析表明：沟槽磨削质量与磨削参数和砂轮类型有关，与金属结合剂砂轮相比，使用树脂结合剂砂轮进行沟槽加工，单晶硅试样崩边尺寸较小，沟槽侧壁的表面质量较高；表面粘贴陪片后进行沟槽磨削可以显著降低沟槽两侧的崩边，提高磨削精度和效率。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康仁科	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	165	2562	24.0	44.0
2	郭东明	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	273	4547	35.0	54.0
3	周平	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	38	260	9.0	15.0
4	董志刚	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	39	317	9.0	17.0
5	艾小忱	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	1	3	1.0	1.0
6	陈晓	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	1	3	1.0	1.0