基于光栅干涉相位移动扫描的超精密测量方法

• 作者: 时轮 汤旭东 陈家宝
• 来源期刊: 机电一体化
• 关键词: 光栅干涉 相位移动扫描 纳米级测量系统
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 字数: 2555字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16413/j.cnkiissn.1007-080x.2015.04.004

摘要

精密定位技术作为精密制造和精密装备的基础,一直制约着我国精密制造和精密装备产业的发展,而纳米级的位移测量技术又是制约精密定位技术发展的一个重要原因.研究了一种基于光栅干涉相位移动扫描原理的纳米级位移测量系统,利用光栅干涉仪实现光学四倍频,再利用条纹移相机构实现信号的进一步细分,获得亚纳米级的测量分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	时轮	上海交通大学机械与动力工程学院	26	93	7.0	8.0
2	陈家宝	上海交通大学机械与动力工程学院	3	6	2.0	2.0