基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统

• 作者: 刘兆武 吕强 巴音贺希格 李文昊 柏杨 王玮
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 光栅 衍射干涉 高精度
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 39-50
• 页数: 12页
• 分类号: TN247|TH744.3
• 字数: 4342字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20171001.0039

摘要

介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点.综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势.光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测量分辨率和精度较高,结构紧凑,成本低.该系统需要解决的问题包括提高光栅以及光学元器件制造和安装精度;寻求一种更高精度的检测手段对光栅位移测量系统进行标定等.光栅干涉式精密位移测量系统的发展方向为更高测量分辨率和精度,大量程、多维度测量以及尺寸小巧.该系统在现代工业加工精密制造领域将具有更广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴音贺希格	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	112	817	16.0	23.0
2	李文昊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	144	7.0	11.0
3	王玮	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	30	308	9.0	17.0
4	吕强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	51	3.0	7.0
8	柏杨	吉林大学生物与农业工程学院	1	32	1.0	1.0
9	刘兆武	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	37	2.0	4.0