光栅精密位移测量技术发展综述

• 作者: 李舒航 陈伟 马庆林 高旭
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 光栅 高精度测量 衍射干涉
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 741-752
• 页数: 12页
• 分类号: TP29
• 字数: 6114字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20191204.0741

摘要

精密测量是精密机械加工的基础,是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一,在当代精密机械制造领域应用广泛.基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小,测量分辨率高等优点,在精密位移测量领域占据重要位置.基于光栅的精密位移测量系统包括光学测量系统、信号接收、电子学细分及整体装调几部分.本文主要针对光学测量光路部分进行综述介绍.首先介绍了经典光栅干涉位移测量原理;其次,综述了基于光栅的精密位移测量系统的关键技术现状;再次,对比分析了几种最具有代表性的测量技术,总结其优缺点;最后,对基于光栅的精密位移测量技术进行展望,揭示其高精度、高分辨力、高鲁棒性、微型化、多维化、多技术融合的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	252	3013	27.0	47.0
2	高旭	长春理工大学光电工程学院	10	37	3.0	6.0
3	李舒航	长春理工大学光电工程学院	2	10	1.0	2.0
4	马庆林	长春理工大学光电工程学院	2	10	1.0	2.0