基于KMC方法的Ag膜生长初期的计算机模拟

• 作者: 孙建城 张慧茹 武频
• 来源期刊: 计算机技术与发展
• 学科: 工学
• 关键词: 银薄膜生长 蒙特卡洛方法 嵌入式原子方法 计算机模拟
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 应用开发研究
• 页码范围: 164-167,172
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 4182字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-629X.2015.01.037

摘要

文中针对银的晶格特征和银薄膜的生长特性，建立了基于KMC( Kinetic Monte Carlo)方法的银薄膜生长模型，模拟了单层Ag膜生长初期的表面形貌。在周期性基底且层间原子间采用交错排列的方式条件下，采用EAM( Embedded Atom Method)计算原子间作用势，并针对金属Ag的晶格特征及其成膜特性进行建模，编程，实验。实验结果表明：在温度不变的情况下，随着覆盖度的增加，表面原子的数量增多，且出现二维岛状生长；岛的生长形貌经历了从分散到凝聚生长的过程；原子岛的数量减少，同时岛的尺寸在增大。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张慧茹	上海大学材料学院复合材料研究中心	12	83	5.0	8.0
2	武频	上海大学计算机工程与科学学院	17	54	4.0	5.0
3	孙建城	上海大学计算机工程与科学学院	1	4	1.0	1.0