大功率RF离子源阻抗匹配电路的设计与实现

• 作者: 刘开锋 岳海昆 李冬 李小飞 汪辰热 陈德智
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 工学
• 关键词: RF离子源 阻抗匹配电路 RF变压器
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 核聚变工程技术
• 页码范围: 346-349
• 页数: 4页
• 分类号: TL62+6|TN711.3
• 字数: 2622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16568/j.0254-6086.201504010

摘要

在大功率 RF 离子源中，激励器的作用是产生等离子体，阻抗匹配电路是激励器吸收 RF 功率的关键。将激励器等效阻抗视为一个电阻和一个电感的串联，采用了一种由一个RF变压器并和两个可调电容组成的阻抗匹配电路，给出了视RF变压器为理想变压器时阻抗匹配电路的分析模型，推导了阻抗匹配时两个可调电容的电气参数。当激励器实验装置使用一个石英玻璃激励器时，搭建了一个阻抗匹配电路，成功地将RF功率耦合进激励器并产生了等离子体。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈德智	华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室	27	166	6.0	11.0
2	李冬	华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室	26	61	4.0	7.0
3	刘开锋	华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室	4	10	2.0	3.0
4	岳海昆	华中科技大学电子信息与通信学院	1	2	1.0	1.0
8	李小飞	华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
9	汪辰热	华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室	1	2	1.0	1.0