双等离子体离子源的工作特性

• 作者: 包泽民 曾小辉 王培智 邱春玲 龙涛
• 来源期刊: 吉林大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 仪器仪表技术 二次离子质谱 双等离子体离子源 离子光学系统 离子束亮度
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 161-166
• 页数: 6页
• 分类号: TB773
• 字数: 2655字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13229/j.cnki.jdxbgxb201501024

摘要

针对双等离子体离子源受气压、磁场强度和放电电流影响,产生的O-离子束亮度不稳定的问题,设计并搭建了一套用于测试离子束亮度的离子光学系统,以SHRIMP Ⅱ上的双等离子体离子源为对象,通过实验和仿真模拟分别研究了气压、磁场强度和放电电流对O-离子束亮度的影响规律.结果表明:该离子源能够稳定地工作在放电电流大于50 mA,气压为110～170 mTorr(1Torr=133.322 Pa)的条件下;当气压为140 mTorr、放电电流为200 mA、磁场强度为0.25 T时,获得的O-离子束亮度能够达到52.4 A/(cm2·sr).合理控制离子源工作参数,可以增大O-离子束亮度,提高二次离子质谱的横向分辨率和灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱春玲	吉林大学仪器科学与电气工程学院	40	186	7.0	12.0
2	王培智	吉林大学仪器科学与电气工程学院	8	18	3.0	4.0
3	龙涛	中国地质科学院地质研究所	29	121	5.0	10.0
4	包泽民	吉林大学仪器科学与电气工程学院	9	14	2.0	3.0
5	曾小辉	吉林大学仪器科学与电气工程学院	1	1	1.0	1.0