基于动力学蒙特卡洛方法模拟化学气相沉积生长Cu薄膜的条件

• 作者: 李朋 杨振雄 赵虎
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 动力学蒙特卡洛方法 生长模拟 表面粗糙度 表面熵
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 364-370
• 分类号: O484.41
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2015.03.017

摘要

应用一套新的动力学蒙特卡洛方法模拟化学气相沉积生长Cu薄膜,铜原子随机生长在平方(100)同质晶格上.生长包括几个基本的过程:沉积,表面扩散,原子吸附,原子对成核,岛状生长等.薄膜的生长质量被诸如表面熵的一些参数所描述,表面熵是类比信息熵在通信领域的应用所提出的一个新的概念.发现低温和较低的覆盖层数往往伴随着粗糙的膜的表面,直到达到临界温度后不再变化,这些结论和实验的结果相一致.改变了传统的对薄膜粗糙度的定义,同时发现仅仅用粗糙度这个参数描述薄膜表面粗糙情况是不恰当的.最后对比结果解释了提出表面熵这个新概念的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李朋	北京师范大学物理学系	1	0	0.0	0.0
2	杨振雄	北京师范大学物理学系	1	0	0.0	0.0
3	赵虎	北京师范大学物理学系	2	0	0.0	0.0