微型紫外光纤光谱仪的光学系统设计及性能检测

• 作者: 周盛华 王成群 王璐 裘燕青
• 来源期刊: 中国计量学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱仪 紫外光谱 光学设计 ZEMAX软件
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 计量与测试
• 页码范围: 435-441
• 页数: 7页
• 分类号: TH744
• 字数: 4238字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1540.2015.04.009

摘要

采用非对称交叉的切尼尔-特纳(C-T)光路结构,设计了一种微型紫外光纤光谱仪的光学系统.用ZEMAX对光路进行仿真、像质评价和优化,对各类像差进行校正.同时,对不同狭缝尺寸和光栅常数的光谱仪理论分辨率进行了分析.当采用30μm狭缝和1 800线/mm光栅时,模拟光学系统在180～270 nm光谱范围内整体分辨率优于0.5nm,在180 nm附近最高分辨率达到0.1 nm.最后,基于该光学设计研制了一台光谱仪样机,在使用交流电弧激发金属纯铁样品的条件下,对原子发射光谱进行了检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周盛华	中国计量学院光学与电子科技学院	16	25	3.0	5.0
2	王成群	浙江理工大学信息学院	10	14	2.0	3.0
3	裘燕青	中国计量学院光学与电子科技学院	7	37	3.0	6.0
4	王璐	中国计量学院光学与电子科技学院	2	1	1.0	1.0