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摘要:
通过选用X射线光电子能谱(XPS)测量方法,对上海市计量测试技术研究院所研制的纳米薄膜厚度标准物质的组成及化合态进行了分析,并考察了薄膜厚度的均匀性和稳定性。实验结果表明,所研制的标准物质的薄膜组成为氧化钽,薄膜的均匀性以及在监测期内的稳定性良好。该标准物质可以作为产品质量控制、设备校准以及测试方法验证的国家计量器具使用,完全满足标准物质使用要求。
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文献信息
篇名 纳米薄膜厚度标准物质的均匀性及稳定性监测
来源期刊 上海计量测试 学科
关键词 纳米厚度薄膜 标准物质 均匀性 稳定性
年,卷(期) 2015,(5) 所属期刊栏目 学术论文
研究方向 页码范围 15-17
页数 3页 分类号
字数 2014字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 周莹 6 7 1.0 2.0
2 徐建 9 33 3.0 5.0
3 郝萍 5 6 1.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
纳米厚度薄膜
标准物质
均匀性
稳定性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海计量测试
双月刊
1673-2235
31-1424/TB
大16开
上海市宜山路716号
4-769
1973
chi
出版文献量(篇)
3176
总下载数(次)
7
总被引数(次)
5260
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