原文服务方: 材料工程       
摘要:
通过直流磁控溅射方法制备出四个不同厚度的纳米Ti薄膜,并分别采用纳米压痕仪、电子薄膜应力分布测试仪研究了Ti薄膜的力学性能和残余应力大小,结合分形维数方法和原子力显微镜对薄膜表面粗糙度和表面形貌进行了分析.实验结果表明:随Ti薄膜厚度的增加,薄膜晶粒尺寸逐渐增大,表面粗糙度和残余应力值随厚度的增加先增大后减小,而Ti薄膜弹性模量和硬度随薄膜厚度增加呈现出先减小随后增大的趋势.当薄膜厚度为600,2400,3600nm时薄膜中存在残余压应力,厚度为1200nm时存在残余拉应力,薄膜中残余应力分布最为均匀,但此时薄膜具有较低的硬度和弹性模量值.分析得出Ti薄膜中存在残余拉应力会使薄膜硬度和弹性模量值变小,残余压应力反之.
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文献信息
篇名 不同厚度纳米Ti薄膜的力学性能
来源期刊 材料工程 学科
关键词 薄膜 纳米压痕 分形维数 力学性能
年,卷(期) 2015,(11) 所属期刊栏目 测试与表征
研究方向 页码范围 50-56
页数 7页 分类号 TG133.25
字数 语种 中文
DOI 10.11868/j.issn.1001-4381.2015.11.009
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王海斗 装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室 158 1753 23.0 29.0
2 邢志国 装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室 27 208 9.0 12.0
3 崔秀芳 哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院 25 162 7.0 12.0
4 董美伶 装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室 3 51 2.0 3.0
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研究主题发展历程
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分形维数
力学性能
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
材料工程
月刊
1001-4381
11-1800/TB
大16开
北京81信箱-44分箱
1956-05-01
中文
出版文献量(篇)
5866
总下载数(次)
0
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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