薄膜厚度对Si基SiO2薄膜力学性能的影响

• 作者: 张伟光 李继军 聂晓梦 赵春旺 邢永明 郎风超
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: Si基SiO2薄膜 纳米压痕 有限元模拟 弹性模量 硬度
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 646-651
• 页数: 6页
• 分类号: TG147
• 字数: 3975字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13433/j.cnki.1003-8728.20180211

摘要

为了研究薄膜厚度对Si基SiO2薄膜力学性能的影响规律,利用纳米压痕技术及有限元模拟方法对不同厚度的Si基SiO2薄膜材料进行测试,分析了不同厚度薄膜的硬度及弹性模量等力学性能,讨论了不同压深膜厚比对不同厚度薄膜弹性恢复率的影响,并在试验的基础上,建立了有限元模型,模拟了不同厚度薄膜在相同压深下的载荷位移关系,分析了薄膜的弹性恢复性能.结果 表明:SiO2薄膜越厚其弹性模量越小,而薄膜的硬度在薄膜较薄时压痕的尺寸效应更明显,并利用模拟进一步分析得出薄膜越薄弹性恢复性能越好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李继军	内蒙古工业大学理学院	56	292	8.0	16.0
3	赵春旺	内蒙古工业大学理学院	58	247	9.0	12.0
5	邢永明	内蒙古工业大学理学院	82	584	14.0	20.0
6	郎风超	内蒙古工业大学理学院	13	50	3.0	7.0
7	张伟光	内蒙古工业大学理学院	3	25	1.0	3.0
10	聂晓梦	内蒙古工业大学理学院	4	65	2.0	4.0