微米级光栅样片的研制及关键质量参数的评价

• 作者: 刘庆纲 李锁印 梁法国 翟玉卫 许晓青 赵新宇 赵琳 赵革艳
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅样片 扫描电子显微镜(SEM) 质量参数 直线度 均匀性
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 537-541
• 分类号: TN307
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.08.011

摘要

论述了扫描电子显微镜(SEM)应用的广泛性以及光栅样片用于校准扫描电子显微镜的重要性,从选材、图形设计及加工制作等几个方面设计并研制了微米级光栅样片.为方便校准扫描电子显微镜的不同放大倍率,采用分区域图形设计方法将7个不同尺寸的样片结构分布在同一模板上.设计了对样片的关键质量参数(如栅条的直线度及均匀性)的评价方法,并对已试制的光栅样片的栅条宽度、直线度以及均匀性进行了测量.以周期尺寸为2和10μm的样片为例,分析了样片关键质量参数的测量数据.分析结果表明,研制的样片符合作为校准扫描电子显微镜的标准样片的基本条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘庆纲	天津大学精密仪器与光电子工程学院	45	189	8.0	10.0
2	梁法国	中国电子科技集团公司第十三研究所	54	104	5.0	7.0
3	李锁印	中国电子科技集团公司第十三研究所	27	40	3.0	5.0
4	赵琳	中国电子科技集团公司第十三研究所	20	27	3.0	3.0
5	赵革艳	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	4	1.0	1.0
6	赵新宇	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	4	1.0	1.0
7	许晓青	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	15	2.0	3.0