Parylene C在压电喷头中的应用研究

• 作者: 智利莎 柳永丽 邹赫麟 鲁伯林
• 来源期刊: 机电技术
• 学科: 工学
• 关键词: Parylene C 图形化刻蚀 压电喷头 结合强度
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与工艺
• 页码范围: 117-120,126
• 页数: 5页
• 分类号: TB37
• 字数: 2725字
• 语种: 中文

摘要

为了对压电喷头进行有效防护，采用Parylene C作为保护层，对Parylene C的沉积厚度、图形化和与基底结合强度进行了实验研究。当Parylene C保护层的沉积厚度在450 nm至1μm时，能够满足Parylene C的耐压要求，且对压电单元振动位移的影响较小。采用氧等离子体刻蚀的方法对Parylene C进行图形化刻蚀，得到其刻蚀速率与刻蚀功率的变化关系。采用硅烷偶联剂预处理基底表面后，Parylene C与基底具有较强的结合强度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹赫麟	大连理工大学机械工程学院	10	24	3.0	4.0
2	鲁伯林	大连理工大学机械工程学院	1	2	1.0	1.0
3	智利莎	大连理工大学机械工程学院	2	5	2.0	2.0
4	柳永丽	大连理工大学机械工程学院	1	2	1.0	1.0