氧化铝抛光液磨料制备及其稳定性研究进展

• 作者: 刘卫丽 吴俊星 宋志棠 朱月琴 谢华清
• 来源期刊: 上海第二工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械抛光 纳米氧化铝 表面改性
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 环境科学与工程
• 页码范围: 104-108
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 4005字
• 语种: 中文

摘要

介绍了氧化铝磨料在化学机械抛光中的应用,总结了氧化铝抛光液磨料制备方法.根据氧化铝抛光液在应用中存在的问题,着重阐述提高氧化铝抛光液分散性和稳定性的方法.在分析氧化铝抛光液应用的基础上,提出蓝宝石衬底抛光液将来的发展方向,希望为今后的氧化铝抛光液研究提供一些思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢华清	上海第二工业大学城市建设与环境工程学院	62	211	8.0	13.0
2	宋志棠		51	197	8.0	12.0
4	刘卫丽		14	52	4.0	6.0
10	吴俊星	上海第二工业大学城市建设与环境工程学院	1	4	1.0	1.0