1MΩ~100GΩ高值电阻器高精度的校准方法

• 作者: 乔玉娥 刘霞美 梁法国 王一帮 郑世棋
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高值电阻器 校准方法 高阻计 比较电桥
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 页码范围: 54-56,69
• 页数: 4页
• 分类号: TB971
• 字数: 1781字
• 语种: 中文

摘要

高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用. 但目前市场上1MΩ~100GΩ高值电阻器准确度(±1. 0×10-3 ~±1. 0×10-2)无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求. 本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法,该方法由两个多功能校准源和指零仪组成的比较电桥实现. 根据校准方法组建了1MΩ~100GΩ测量系统,测量结果的不确定度为3. 0×10-5 ~8. 0×10-4,可满足市场上绝大部分高阻测量仪器的校准需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔玉娥	中国电子科技集团公司第十三研究所	23	27	3.0	4.0
2	梁法国	中国电子科技集团公司第十三研究所	54	104	5.0	7.0
3	郑世棋	中国电子科技集团公司第十三研究所	26	25	3.0	3.0
4	刘霞美	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	15	3.0	3.0
5	王一帮	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	9	2.0	2.0