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Design and Experiment of Vertical Motion Dual-stage with Piezo-actuated Nanopositioning Stage
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | Design and Experiment of Vertical Motion Dual-stage with Piezo-actuated Nanopositioning Stage | ||
| 来源期刊 | 南京航空航天大学学报（英文版） | 学科 | 工学 |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2015,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 199-203 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TH39 |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | 10.16356/j.1005-1120.2015.02.199 | ||
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南京航空航天大学学报(英文版)
主办单位：
南京航空航天大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
1005-1120
CN：
32-1389/V
开本：
大16开
出版地：
南京市御道街29号1016信箱
邮发代号：
创刊时间：
1982
语种：
eng
出版文献量（篇）
1548
总下载数（次）
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