在片S参数测量系统校准技术研究

• 作者: 刘晨 吴爱华 孙静 梁法国 郑延秋
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 在片测量 S参数测量系统 散射参数 校准 裸芯片
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 页码范围: 11-16
• 页数: 6页
• 分类号: TB973
• 字数: 2226字
• 语种: 中文

摘要

在片S参数测量系统在半导体行业裸芯片测量中得到了广泛的应用,但是国内在片S参数测量系统无法有效溯源的现状影响了高端裸芯片产品的研发进度. 为了建立该类系统的校准能力,本文研制了微带形式的在片校准件、在片传递标准件和在片检验件三类标准样片,搭建了高准确度的在片S参数传递标准件定标系统,通过HFSS仿真方法使得在片S参数溯源至几何量基准,最终建立了在片S参数测量系统中传输参数的计量校准能力,为最终完成在片S参数测量系统校准奠定了技术基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁法国	中国电子科技集团公司第十三研究所	54	104	5.0	7.0
2	吴爱华	中国电子科技集团公司第十三研究所	40	63	4.0	6.0
3	刘晨	中国电子科技集团公司第十三研究所	19	21	3.0	3.0
4	郑延秋	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	34	4.0	5.0
5	孙静	中国电子科技集团公司第十三研究所	15	20	3.0	4.0